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GBT 26065-2010 硅单晶抛光试验片规范

对于更高要求的硅单晶抛光片规格,如:颗粒测试硅片、光刻分辨率试验用硅片以及金属离子监控片等,参见SEMI24《硅单晶优质抛光片规范》。 关键字:GB/T26065-2010,GB/T 26065,GB/T26065,GB/T 26065-,GBT 26065-2010,GBT
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